嘉盛先创科技(苏州)有限公司

方案应用:洁净风系统压差控制
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项目背景介绍

本项目对嘉盛先创半导体苏州工厂生产厂房的洁净风系统进行优化改造。在关键区域的排风系统安装艾能可变风量阀,实现对房间压差的实时闭环控制,有效保障了压差稳定和控制精度。

项目实施效果

洁净区域压差稳定控制在目标值附近,波动范围显著收窄,动态响应速度快,为生产提供了安全、可靠的洁净环境保障。

改造后的设备统一接入控制系统,支持远程监测和控制,提升了系统智能化管理水平。

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量化成果

±1.5Pa
压差控制精度